中微半导体设备（上海）有限公司基本信息

中微半导体设备（上海）有限公司是一家致力于微观制程设备的研发、生产、销售及服务一体化的高科技创业公司。作为国内首家加工亚微米及纳米级大规模集成线路关键设备的公司，本公司志立于中国亚洲乃至全球蓬勃发展的半导体产业开发，市场潜力在百亿美金以上。
中微公司荟萃了一大批来自国际领先的半导体设备公司的精英，他们平均拥有十五年的管理与开发经验，他们参与并领导了世界前两代多个成功的半导体制程设备的开发及市场引入。公司成立以后吸引了大批来自国内一流企业的技术和管理人才。
仅用了2年半的时间，公司就开发出了具有独立自主知识产权的等离子体刻蚀设备Primo D-RIE，它可用于12英寸，90纳米（可延伸至65纳米）高端工艺的芯片制造生产，显示出其在半导体设备制造行业中所具有的良好的基础。
中微公司于二零零四年八月份在上海浦东张江高科技园区建立了研发及运营中心。二零零五年一月二十八日在金桥开发区举行了7，000平方米办公及生产用厂房的一期工程的开工奠基仪式。公司二期工程15，000平方米扩大生产用厂房也将于近期动工兴建。今后，公司还将在亚洲及全球其他地区相继建立销售和客户服务中心。